微細加工技術(shù)雜志介紹

《微細加工技術(shù)》創(chuàng)刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內(nèi)外公開發(fā)行的中央級重要科技期刊。主要反映半導體集成電路制造業(yè)的新工藝和新設(shè)備，是該領(lǐng)域科研工作者和工作報告的園地，為科研人員和我國信息產(chǎn)業(yè)化、現(xiàn)代化服務(wù)。是國家一級檢索刊物，已連續(xù)9年被美國工程信息公司Ei數(shù)據(jù)庫收錄，是《中國期刊網(wǎng)》、《中國學術(shù)期刊（光盤版）》、《中國學術(shù)期刊綜合評價數(shù)據(jù)庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數(shù)據(jù)庫》來源期刊。

主要欄目：綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機械加工技術(shù)、納米技術(shù)等。

本刊主要資助項目有：國家自然科學基金、國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃、國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃、國家教育部博士點基金、國家重點實驗室開放基金、山東省自然科學基金、中國科學院知識創(chuàng)新工程、中國博士后科學基金、上海市自然科學基金、中國科學院知識創(chuàng)新工程重要方向項目。

本刊主要資助課題有：國家自然科學基金(90307003)、山東省自然科學基金(Y2003G03)、國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(2003CB716204)、國家自然科學基金(59671051)、山東省科技攻關(guān)計劃(022090105)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2004AA404260)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404150)、國家自然科學基金(10572078)、國家自然科學基金(50275140)、國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(2003AA404140)。